真空快速退火爐

更新時間： 2024-03-21

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產品報價：

產品簡介： 真空快速(su)退火爐操(cao)作便捷，電(dian)熱元件采用紅(hong)外(wai)燈(deng)管，升溫速(su)度(du)快，節省(sheng)時(shi)間，滑動(dong)法蘭使裝(zhuang)(zhuang)卸(xie)樣品過程簡化，方便操(cao)作，可快速(su)得到(dao)實驗結果(guo)，取消了反復的法蘭安裝(zhuang)(zhuang)過程，減少了爐管因安裝(zhuang)(zhuang)造成(cheng)的損壞(huai)。

詳細資料：

真空快速退火爐產品特點：

1 控制電路選用模糊PID程控技術，該技術控溫精度高，熱慣性小，溫度不過沖，性能可靠，操作簡單。

2 氣路快速連接法蘭結構采用本公司*的知識產權設計,提高操作便捷性。

3 中真空系統具有真空度上下限自動控制功能，高真空系統采用高壓強，耐沖擊分子泵防止意外漏氣造成分子泵損壞，延長系統使用壽命。

產品組成：

此款CVD系統配置：

1.1200度開啟式真空管式爐（可選配單溫區、雙溫區）。

2.多路質量流量控制系統

3.真空系統（可選配中真空或高真空）

真空快速退火爐技術參數：

產(chan)品名稱(cheng)	RTP系列-滑(hua)動式快速退火(huo)爐(lu)
產品型號	RTP-G06123K-H
額(e)定功率	9KW
額定電壓	220AC 50/60Hz
極限溫度(du)	1000℃
連續工作	950℃(<1 小時)
加熱(re)區長度	250mm
恒溫區長度	200mm
加熱元件	紅外燈管
溫度控制(zhi)	國產程(cheng)序控(kong)溫(wen)系(xi)統可編程(cheng)50段程(cheng)序控(kong)溫(wen)；
控制精度	±1℃
石英管尺寸	Φ60/Φ80/Φ100mm
爐(lu)管材質(zhi)	石英管
滑動距離	300mm
大降溫速度	900~200℃的降(jiang)溫速度:15min
zui快升(sheng)溫速度	50oC/S
滑動控(kong)制	由溫度控制器(qi)自動控制爐體(ti)移動. 當程序完成，爐體(ti)按(an)設定(ding)的速度滑動。
流量(liang)計	浮(fu)子流量(liang)計60-600ml/min
滑軌尺寸	360 x1300x265mm
外(wai)形尺寸	360x385x595mm
重量	85Kg
標準配置	氣(qi)路(lu)總(zong)成一(yi)套(tao)（含真空壓力表）石英(ying)管一(yi)支、石英(ying)堵三個、鉤子一(yi)把、高溫手套(tao)一(yi)副。