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當您在使用RTP快速退火爐時，這些事項必須時刻注意！
更新時間：2022-07-20 點擊次數：2546
RTP快速退(tui)火爐(lu)主要適用于不(bu)銹鋼(gang)(gang)拉深件如水暖器材(cai)(cai)、水脹件、銷、醫(yi)療器械、不(bu)銹鋼(gang)(gang)釘(ding)、不(bu)銹鋼(gang)(gang)鏍(luo)絲、壓鉚件、不(bu)銹鋼(gang)(gang)軸(zhou)承、表(biao)殼(ke)、表(biao)帶、刀具、微型(xing)軸(zhou)、自攻自鉆(zhan)、餐(can)具等(deng)不(bu)銹鋼(gang)(gang)制品(pin)在保護氣氛控制下進行連續光亮退(tui)火、固(gu)溶、退(tui)磁及不(bu)銹鋼(gang)(gang)淬(cui)火處理(li)的多(duo)用爐(lu)。處理(li)后產(chan)品(pin)表(biao)面光潔，不(bu)氧化，不(bu)脫碳。具有(you)生產(chan)效率高，能耗低，污染少(shao)，操作使用方(fang)便，勞動(dong)強度低等(deng)優(you)點(dian).也可(ke)供金屬材(cai)(cai)料釬(han)焊，燒結之用。系引(yin)進消化國外90年初產(chan)品(pin)。
RTP快(kuai)速退火(huo)爐技術特點：
RTP快速退火爐廣泛應用在IC晶圓、LED晶圓、MEMS、化合物半導體和功率器件等多種芯片產品的生產。和歐姆接觸快速合金、離子注入退火、氧化物生長、消除應力和致密化等工藝當中，通過快速熱處理以改善晶體結構和光電性能，具有技術指標高、工藝復雜、性強的特點。
快速(su)退火爐的使用(yong)注(zhu)意事項：
1.爐子使用或長(chang)時間不用后，要在120℃左(zuo)(zuo)右烘烤1小時，在300℃左(zuo)(zuo)右烘烤2小時后使用，以(yi)免造(zao)成爐膛開裂。爐溫盡量(liang)不要超過額定溫度，以(yi)免損壞加熱元件(jian)及爐襯。禁止向爐膛內直接(jie)灌注各種(zhong)液體及溶解(jie)金屬，保持爐內的清潔。
2.爐膛若采(cai)用石英管(guan)，當溫度高于(yu)1000℃時，石英管(guan)的高溫部分會出現不透明現象，這叫失透(又(you)叫析(xi)晶(jing)性)是(shi)連熔石英管(guan)的一(yi)個固有缺(que)陷，屬(shu)正常現象。
3.冷爐(lu)使用時，由(you)于爐(lu)膛是冷的(de)，須大(da)量(liang)吸熱，所以低溫(wen)段升(sheng)溫(wen)速(su)率不(bu)易(yi)過(guo)快，各(ge)溫(wen)度段的(de)升(sheng)溫(wen)速(su)率差(cha)別(bie)不(bu)易(yi)太大(da)，設置升(sheng)溫(wen)速(su)率時應(ying)充分考慮所燒結(jie)材料(liao)(liao)的(de)物(wu)理化學(xue)性質，以免出(chu)現(xian)噴(pen)料(liao)(liao)現(xian)象(xiang)，污染(ran)爐(lu)管(guan)。
4.定期檢(jian)查(cha)溫(wen)度(du)控制系(xi)統的(de)電器連接(jie)部(bu)分的(de)接(jie)觸是否良好，應特別注意(yi)加(jia)熱元件的(de)各連接(jie)點的(de)連接(jie)是否緊固。
5.爐子(zi)使(shi)用過一段時間(jian)后(hou)，若真(zhen)空度(du)降低(di)，可分別更(geng)換(huan)不銹鋼法蘭盤(pan)之(zhi)間(jian)的(de)耐溫硅膠圈或重新安裝不銹鋼法蘭盤(pan)或更(geng)換(huan)修理真(zhen)空系統(tong)，以(yi)提(ti)高系統(tong)的(de)整體真(zhen)空度(du)。
6.爐子在工作過(guo)程(cheng)中(zhong)，一般(ban)在300℃左右若控制偏差還不能消除(chu)，出現溫度顯示值(zhi)與程(cheng)序給(gei)定值(zhi)不符或擺動(dong)過(guo)大，檢查參數“M5、P、t”設(she)置是(shi)否(fou)。
