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原來RTP快速退火爐是由這7個部分組成的！
更新時間：2022-07-14 點擊次數：2653
RTP快(kuai)(kuai)速(su)退(tui)火爐(lu)采(cai)用的(de)微電腦控(kong)制(zhi)系統，采(cai)用PID閉環(huan)控(kong)制(zhi)溫度，可(ke)(ke)以達(da)到*的(de)控(kong)溫精度和溫度均勻性，并且可(ke)(ke)配置(zhi)真(zhen)空腔體(ti)，也(ye)可(ke)(ke)根據用戶工藝需(xu)求配置(zhi)多路氣體(ti)。目(mu)前(qian)設備可(ke)(ke)用于砷化(hua)鎵、硅以及其(qi)他半導體(ti)材料，離(li)子注(zhu)入后的(de)退(tui)火、硅化(hua)物的(de)形成、歐(ou)姆接觸制(zhi)備以及快(kuai)(kuai)速(su)氧化(hua)、快(kuai)(kuai)速(su)氮化(hua)等(deng)方面。本設備具有快(kuai)(kuai)速(su)升(sheng)降(jiang)溫、慢速(su)升(sheng)降(jiang)溫、和長工作時間穩定等(deng)特點。也(ye)可(ke)(ke)用于各(ge)種半導體(ti)材料的(de)CVD工藝的(de)熱處(chu)理。
RTP快速退火爐主(zhu)要由真(zhen)空(kong)(kong)腔(qiang)室、加熱室、進氣系(xi)(xi)統、真(zhen)空(kong)(kong)系(xi)(xi)統、溫度控制(zhi)系(xi)(xi)統、氣冷系(xi)(xi)統、水冷系(xi)(xi)統等幾(ji)部分組成。
1.真(zhen)空(kong)腔室：真(zhen)空(kong)腔室是(shi)快(kuai)速退火爐的工作空(kong)間，晶(jing)圓在這里進行快(kuai)速熱處理。
2.加熱室：加熱室以多(duo)個紅外燈(deng)管為(wei)加熱元件，以耐(nai)高溫合(he)金(jin)為(wei)框架、高純石英為(wei)主體。
3.進氣系統：真空腔(qiang)室尾部有進氣孔，控制的進氣量用(yong)來滿足一些特殊工藝的氣體需求。
4.真空(kong)(kong)系統：在真空(kong)(kong)泵和真空(kong)(kong)腔室之間裝有(you)(you)高真空(kong)(kong)電(dian)磁閥，可以有(you)(you)效確(que)保腔室真空(kong)(kong)度，同(tong)時避免氣體(ti)倒灌污染(ran)腔室內的被處(chu)理工件(jian)。
5.溫(wen)度(du)(du)控(kong)(kong)制(zhi)(zhi)系(xi)統：溫(wen)度(du)(du)控(kong)(kong)制(zhi)(zhi)系(xi)統由溫(wen)度(du)(du)傳感器(qi)(qi)、溫(wen)度(du)(du)控(kong)(kong)制(zhi)(zhi)器(qi)(qi)、電(dian)力調整器(qi)(qi)、可編程控(kong)(kong)制(zhi)(zhi)器(qi)(qi)、PC及各種傳感器(qi)(qi)等(deng)組成(cheng)。
6.氣(qi)冷(leng)系(xi)統：真空(kong)腔(qiang)室的(de)冷(leng)卻是通過進氣(qi)系(xi)統向腔(qiang)室內充入(ru)惰性氣(qi)體，來加速冷(leng)卻被熱處理的(de)工件，滿(man)足工藝使用要求。
7.水(shui)冷(leng)系統(tong)：水(shui)冷(leng)系統(tong)主要包(bao)括真(zhen)空(kong)腔(qiang)室、加熱(re)室、各部位密封圈(quan)的(de)冷(leng)卻(que)用水(shui)。
