系統型號

CVD-12II-3Z/G

CVD-12II6-3Z/G

極限(xian)溫度

1200℃

加熱區長(chang)度(du)

420mm

600mm

恒溫區長度(du)

280mm

390mm

溫區

雙溫區

雙溫區

石英管管徑

Φ50/Φ60/Φ80mm

Φ80/Φ100mm

額(e)定功率(lv)

3.2Kw

4.8Kw

額(e)定電壓(ya)

220V

溫度控制

國產程(cheng)(cheng)序控溫(wen)系統50段程(cheng)(cheng)序控溫(wen)；

控(kong)制精(jing)度

±1℃

爐(lu)管極限工作溫度

＜1200℃

氣路法蘭

密(mi)(mi)封法(fa)蘭(lan)與(yu)管(guan)件(jian)連接(jie)的(de)地方采用(yong)多環(huan)密(mi)(mi)封技術(shu)，在(zai)密(mi)(mi)封法(fa)蘭(lan)與(yu)管(guan)外壁間形成了密(mi)(mi)封，在(zai)管(guan)件(jian)外徑誤差較大(da)的(de)情況下密(mi)(mi)封仍然有效，該(gai)密(mi)(mi)封法(fa)蘭(lan)的(de)安(an)裝(zhuang)只(zhi)需在(zai)*使用(yong)設備的(de)時候安(an)裝(zhuang)

氣體(ti)控制方式

質量流量計

氣路數量

3路(lu)（可根據(ju)具體(ti)需要選(xuan)配氣(qi)路(lu)數量(liang)）

流量范(fan)圍

0-500sccm(標準(zhun)毫升/分，可選配）氮(dan)氣標定

精度(du)

±1%F.S

響應(ying)時間

≤4sec

工作溫度

5-45℃

工作壓力

進氣壓力0.05-0.3Mpa(表壓力）

系統連(lian)接(jie)方式

采用(yong)KF快速連接波(bo)紋管、高(gao)真(zhen)空手動擋板閥及數(shu)顯真(zhen)空測量儀

規格

高真空

系統真空(kong)范(fan)圍(wei)

1x10-3Pa-1x10-1Pa

真空泵

真(zhen)空分子泵理論極(ji)限(xian)真(zhen)空度(du)5x10-6Pa抽氣(qi)速度(du)1200L/S額(e)定電壓220V    功(gong)率2KW

真(zhen)空(kong)分子泵理論極限真(zhen)空(kong)度(du)5x10-6Pa抽氣(qi)速度(du)1600L/S額定電壓220V  功率2KW

爐體外形尺寸

340×580×555mm

480×770×605mm

系統(tong)外(wai)形尺(chi)寸

530x1440x750mm(不含高真空(kong))

系統總重量(liang)

330kg