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CVD管式爐是由哪些部件組成的？分別又有什么功能？
更新時間：2022-06-28 點擊次數：3690
近年來(lai)，隨著儀器行業的(de)(de)(de)不斷發展，CVD管式爐在市(shi)場上得到(dao)了快速(su)地發展。由于(yu)其突出(chu)的(de)(de)(de)表(biao)現，受(shou)到(dao)了廣泛用戶的(de)(de)(de)青睞。目前本產品可(ke)以廣泛地應用于(yu)納米電子學、半導體(ti)、光電工(gong)程的(de)(de)(de)研發、涂料等領域，下面(mian)我們就來(lai)具體(ti)的(de)(de)(de)了解一下這款儀器！
CVD管式(shi)爐與(yu)普(pu)通設備完整(zheng)不同(tong)。此(ci)外，由(you)于直接(jie)著火，任(ren)何走漏(lou)都可能招致爆炸(zha)或火災(zai)，這也是非消防設備無法比(bi)較(jiao)的(de)(de)。 加(jia)熱式(shi)管式(shi)爐的(de)(de)爐管壁溫(wen)為400-650℃，加(jia)熱反(fan)響式(shi)管式(shi)爐（氫轉化爐）的(de)(de)壁溫(wen)常常在850-1000℃的(de)(de)范(fan)圍內。高(gao)溫(wen)爐圈接(jie)受低工作壓力(li)，如蒸(zheng)餾爐，普(pu)通1-3mpa，高(gao)壓加(jia)氫爐，高(gao)達18-20mpa。
CVD管式爐主要由高(gao)溫腔體、石(shi)英(ying)管、石(shi)英(ying)支(zhi)架、氣路系統、分子(zi)泵機組(zu)、自動化(hua)控制系統、冷卻系統等(deng)組(zu)成。
1、沉底材料可采用銅箔、石墨等；
2、生長(chang)腔體(ti)采用進口(kou)高純石英管，配石英支架、為石墨烯等材(cai)料的生長(chang)提供(gong)潔凈環境(jing)；
3、爐膛采用進口(kou)高(gao)純氧化鋁多晶(jing)體纖維，不(bu)易(yi)掉(diao)粉、壽(shou)命長且保溫性能好。加熱絲采用摻鉬(mu)鐵鉻(ge)鋁合(he)金(jin)加熱絲，溫場均勻，能耗低(di)；
4、密封(feng)法蘭均采用(yong)不(bu)銹(xiu)鋼材質(zhi)，配水(shui)冷套，可連(lian)續長(chang)時間工作；
5、氣路系統采用兩路質量(liang)流量(liang)計(可拓(tuo)展(zhan)多路)，配預混系統；
6、氣體種類(lei)： He/Ar、C2H2、NH3、N2， H2、PH3、GeH4、B2H6；
7、溫度、氣體、真空、冷卻(que)水等(deng)通(tong)過(guo)PLC控制，通(tong)過(guo)PC實(shi)時控制和顯(xian)示相關(guan)的實(shi)驗(yan)(yan)參(can)數(shu)，自動(dong)保存實(shi)驗(yan)(yan)參(can)數(shu)，也可(ke)采用手動(dong)控制；
8、系統(tong)采用集成化(hua)設(she)計，控制(zhi)系統(tong)、混氣罐、質量(liang)流量(liang)計等均內置在(zai)箱體(ti)內部(bu)，占地(di)面積小。整體(ti)安裝四個可移(yi)動(dong)輪子，方便整體(ti)移(yi)動(dong)。
好了(le)！關(guan)于CVD管式(shi)爐結構特點的講解，今天我們就說到這里，希望您看完有(you)所收獲，后期我們也會陸續更新。
