RTP快速退火爐

更新時間： 2024-03-21

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產品報價：

產品簡介： RTP快速退火爐(lu)操(cao)作便捷，電熱(re)元件采用紅外燈管(guan)，升溫速度快，節省時間(jian)，滑動(dong)法(fa)蘭使裝卸樣品過程簡化，方便操(cao)作，可快速得到(dao)實驗結果，取(qu)消了反復的法(fa)蘭安裝過程，減少了爐(lu)管(guan)因安裝造成的損壞。

詳細資料：

RTP快速退火爐產品用途：

此款CVD生長系統適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結等實驗。

RTP快速退火爐產品組成：

此款CVD系統配置：

1.1200度開啟式真空管式爐（可選配單溫區、雙溫區）。

2.多路質量流量控制系統

3.真空系統（可選配中真空或高真空）

產品特點：

1 控制電路選用模糊PID程控技術，該技術控溫精度高，熱慣性小，溫度不過沖，性能可靠，操作簡單。

2中真空系統具有真空度上下限自動控制功能，高真空系統采用高壓強，耐沖擊分子泵

防止意外漏氣造成分子泵損壞，延長系統使用壽命。

產品名稱	RTP系列-滑(hua)動式快(kuai)速退火爐
產(chan)品型號	RTP-G06123K-H
額(e)定功(gong)率	9KW
額定(ding)電(dian)壓(ya)	220AC 50/60Hz
極限溫度	1000℃
連續工作	950℃(<1 小時(shi))
加熱區長度	250mm
恒溫區長度	200mm
加熱(re)元件	紅外(wai)燈管(guan)
溫(wen)度控制	國(guo)產程序控溫系(xi)統(tong)可編程50段程序控溫；
控(kong)制精度	±1℃
石英管尺(chi)寸	Φ60/Φ80/Φ100mm
爐管材(cai)質	石(shi)英管
滑動距離	300mm
大降(jiang)溫速度	900~200℃的降(jiang)溫速(su)度:15min
zui快(kuai)升溫速度	50oC/S
滑(hua)動控制(zhi)	由溫(wen)度控制器自(zi)動(dong)(dong)控制爐體移動(dong)(dong). 當程序完成，爐體按(an)設(she)定的速度滑動(dong)(dong)。
流(liu)量(liang)計(ji)	浮子流(liu)量計60-600ml/min
滑(hua)軌尺寸	360 x1300x265mm
外形尺寸	360x385x595mm
重量	85Kg
標準配置	氣(qi)路總成一(yi)套（含真空壓(ya)力表）石英管(guan)一(yi)支、石英堵三個、鉤(gou)子一(yi)把、高溫手套一(yi)副(fu)。