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1200℃雙管滑動式單溫區/多溫區CVD系統
更新時間： 2024-03-21
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產品報價：
產品簡介： 產品(pin)用途：此款CVD系統是專(zhuan)門為在(zai)金屬箔(bo)上生長(chang)薄膜而設計，特別(bie)是應用在(zai)新一(yi)代能源(yuan)關(guan)于柔性金屬箔(bo)電極方面的研究，通(tong)過滑動爐(lu)實現快(kuai)速加熱和冷卻。
詳細資料：
產品用途：
此款CVD系統是專門為在金(jin)屬箔上生長薄膜而設計，特別(bie)是應用(yong)在新(xin)一代能源關(guan)于柔性(xing)金(jin)屬箔
電(dian)極方面的(de)研究(jiu)，通(tong)過(guo)滑動爐實現快速加熱和冷卻。
產品組成：
CVD系統配置：
1.1200度開啟(qi)式(shi)真空管式(shi)爐（可選配(pei)單溫區及雙溫區）。
2.滑動(dong)(dong)系(xi)統分(fen)為手動(dong)(dong)、電動(dong)(dong)滑動(dong)(dong)，并配有風(feng)冷(leng)系(xi)統。
3.內外雙石(shi)英管(guan)，采(cai)用(yong)真空(kong)可通氣氛雙法蘭特殊連接。
4.多路氣體流(liu)量(liang)控(kong)(kong)制系統（質(zhi)子流(liu)量(liang)控(kong)(kong)制器和(he)浮子流(liu)量(liang)控(kong)(kong)制器）
5.真空(kong)系統(tong)（可選配中真空(kong)或高真空(kong)）
產品特點：
產品*性
1 控制電路選用(yong)模糊PID程控技(ji)術，該技(ji)術控溫精度(du)高，熱慣性小，溫度(du)不過沖，性能可(ke)靠，操作(zuo)簡(jian)單(dan)。
2中真空系統具有真空度上下限自動控制功能，高真空系統采用高壓強，耐沖擊分子泵，防止意外漏氣造成分子泵損壞，延(yan)長系統使用壽命。
3 (電動)滑動系統采用溫度控制器自動控制爐體移動，等程序完成，爐體按設定的速度滑動，因有滑動限位功(gong)能，爐(lu)體不會發生碰撞(zhuang)，待(dai)樣(yang)品露出爐(lu)體后，通過風(feng)冷系統快速降溫。
4 雙管真空密(mi)封法蘭，反應氣(qi)體可以在內(nei)(nei)外管之間(jian)發生反應，冷卻氣(qi)體可通過(guo)內(nei)(nei)管，從(cong)而(er)使內(nei)(nei)管外壁溫(wen)度降低(di)。
系統名稱 | 1200℃雙管滑動式(shi)單(dan)/多溫區CVD系統 | |
系統型號 | CVD-12II6SH-3Z/G | CVD-12III9SH-3Z/G |
極限溫度 | 1200℃ | |
加熱區長度 | 610mm | 940mm |
恒溫區長度 | 400mm | 700mm |
溫區 | 雙溫區 | 三溫區 |
石英管管徑 | 內(nei)管：Φ80mm 外管：Φ100mm | |
額定功率 | 4.8Kw | 7.2Kw |
額定電壓 | 220V | 380V（三相） |
滑動距離 | 485mm | 650mm |
滑動方式 | 手動滑(hua)動/自動滑(hua)動(由溫度控(kong)制器自動控(kong)制移動，當(dang)程序(xu)完成(cheng)，爐(lu)子按設(she)定(ding)的(de)速度滑(hua)動） | |
溫度控制 | 國產(chan)程序控(kong)溫系統50段程序控(kong)溫； | |
控制精度 | ±1℃ | |
爐管極限工作溫度 | ＜1200℃ | |
雙管法蘭連接 | 采(cai)用(yong)雙法蘭(lan)(lan)雙卡箍連接可擴展多(duo)功能(neng)，并且分別獨立(li)對內管和(he)外管進行真空(kong)和(he)氣體流量控制(zhi).密封(feng)(feng)法蘭(lan)(lan)與管件連接的(de)(de)地方采(cai)用(yong)多(duo)環(huan)密封(feng)(feng)技(ji)術，在密封(feng)(feng)法蘭(lan)(lan)與管外壁間形成(cheng)了密封(feng)(feng)，在管件外徑誤差較大的(de)(de)情況下(xia)密封(feng)(feng)仍(reng)然有(you)效，該密封(feng)(feng)法蘭(lan)(lan)的(de)(de)安(an)裝只需(xu)在*使用(yong)設備的(de)(de)時候安(an)裝 | |
氣體控制方式 | 質量流量計 | |
氣路數量 | 3路(lu)(lu)（可根據具體需(xu)要選配氣(qi)路(lu)(lu)數(shu)量） | |
流量范圍 | 0-500sccm(標準(zhun)毫(hao)升/分，可選配）氮氣標定 | |
精度 | ±1%F.S | |
響應時間 | ≤4sec | |
工作溫度 | 5-45℃ | |
工作壓力 | 進氣(qi)壓力0.05-0.3Mpa(表壓力） | |
系統連接方式 | 采用KF快速連接波(bo)紋(wen)管、高(gao)真(zhen)空手(shou)動擋板閥及數顯真(zhen)空測量儀 | |
規格 | 高真空 | |
系統真空范圍 | 1x10-3Pa-1x10-1Pa | |
真空泵 | 真空分子泵理論極限真空度 | |
爐體外形尺寸 | 480×770×605mm | 410×1100×605mm |
系統外形尺寸 | 530×1440×750mm(不含高真(zhen)空) | |
系統總重量 | 340Kg | |
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