1200℃集成型自動小型PECVD系統

更新時間： 2024-03-21

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產品報價：

產品簡介： PECVD系(xi)統是借助射頻(pin)使含有薄膜組成原子(zi)的(de)氣(qi)體(ti)(ti)電離(li)，在局部形成等離(li)子(zi)體(ti)(ti)，而等離(li)子(zi)體(ti)(ti)化學活性(xing)很強，很容易發生反應，在基片上沉(chen)積出所期望的(de)薄膜。集成型PECVD系(xi)統PECVD-12IH-500A、1200℃小型PECVD系(xi)統PECVD-12IH-4Z/G

詳細資料：

產品用途

PECVD系統(tong)是(shi)借助射(she)頻使含有薄膜組成原子(zi)的(de)氣(qi)體(ti)(ti)電離，在(zai)局(ju)部(bu)形成等(deng)離子(zi)體(ti)(ti)，而等(deng)離子(zi)體(ti)(ti)化學(xue)活(huo)性很強(qiang)，很容易(yi)發(fa)生反(fan)應(ying)，在(zai)基片上沉積出所期望的(de)薄膜。

PECVD系統配置；

1.1200度開啟式滑動單溫區真空管式爐

2.等離(li)子射頻電源(yuan)

3.多路(lu)質量流量控制系統

4.真空系統（單獨(du)購買）

產品特(te)性;

電源(yuan)范(fan)圍廣；溫(wen)度范(fan)圍寬；濺射區域長；整管可(ke)調(diao)；精(jing)致小巧，性價比高(gao)，可(ke)實(shi)現快速升降溫(wen)，是實(shi)驗室(shi)生長薄(bo)(bo)膜(mo)石墨烯，金(jin)屬(shu)薄(bo)(bo)膜(mo)，陶瓷薄(bo)(bo)膜(mo)，復合薄(bo)(bo)膜(mo)等的理想選擇，也可(ke)作為擴展等離子(zi)清洗(xi)刻蝕使用。

系統名稱	集成型PECVD系統	1200℃小型PECVD系統
系統(tong)型(xing)號(hao)	PECVD-12IH-500A	PECVD-12IH-4Z/G
控制方式(shi)	液晶屏微PLC控制(zhi)系統(tong)	手(shou)動
極限溫度	1200℃
加熱區長度(du)	200mm
恒溫(wen)區長度(du)	100mm
溫(wen)區	單溫(wen)區(qu)
石英(ying)管管徑	Φ60mm	Φ50mm
額定(ding)功(gong)率	1.2Kw	2Kw
額定電壓	220V
滑(hua)動(dong)方式及距離	自(zi)動(dong)滑動(dong);200mm	手動(dong)滑動(dong);200mm
溫度控制	30段程(cheng)序控(kong)溫	50段(duan)程序控溫(wen)
控制精度(du)	±1℃
爐管極(ji)限工作溫度	＜1200℃
氣(qi)路法蘭	采(cai)用多(duo)環(huan)密封技(ji)術卡箍快速連接
排(pai)風冷卻(que)裝置	的空氣(qi)隔熱技術(shu)，結合熱感應技術(shu)，當爐體(ti)表面溫(wen)升(sheng)到50℃時，排溫(wen)風扇將自動(dong)啟(qi)動(dong)，使爐體表面快速(su)降溫(wen)。
氣體控制方式(shi)	質(zhi)量(liang)流量(liang)計（按鍵式）
氣路數量	2路（2-4路）	4路（可(ke)根據具體需要選配(pei)氣路數量）
流量(liang)范圍(wei)	0-500sccm(標準毫升/分，可選(xuan)配）氮氣標定
精度	±1%F.S
響應(ying)時(shi)間(jian)	1sec
工(gong)作溫度（流(liu)量計）	20-120℃
工作壓(ya)力	進氣壓力0.05-0.3Mpa(表壓力）
進(jin)氣方式	采用防(fang)倒流設計
規格	中真空（集成型請(qing)單獨購(gou)買）
系統真空范(fan)圍	10Pa-100Pa
真空泵(beng)	雙級機(ji)械泵理論極限真空度3x10^-1Pa，抽氣速率4L/S（選配(pei)：其他抽速真空泵）,出(chu)氣口配有油(you)污(wu)過濾器，額定電壓220V，功率0.55Kw
信號頻率	13.56MHz±0.005%
功率輸(shu)出范圍	0W-500W	0W-100W
大反射功(gong)率	350W	30W
射頻輸出接口	50Ω，N-type,temale
功率(lv)穩(wen)定度(du)	±0.1%
諧(xie)波(bo)分量	≤-50dbc
供電(dian)(dian)電(dian)(dian)壓	單相交流（187V-253V)頻率50/60HZ
整(zheng)機(ji)功率	≥70%
屏幕顯示	正方向功(gong)率，匹(pi)配器電容位置，偏置電壓值
爐體(ti)外(wai)形尺(chi)寸(cun)	290×350×340mm	290×350×495mm
系(xi)統外形尺寸	420×1440×1100mm	530×2310×750mm
系統總重量	270Kg