系統型號

CVD-12II-3Z/G

CVD-12II6-3Z/G

極限溫度

1200℃

加熱區長度

420mm

600mm

恒溫區長度

280mm

390mm

溫區

雙溫區

雙溫區

石英管管徑

Φ50/Φ60/Φ80mm

Φ80/Φ100mm

額定功率

3.2Kw

4.8Kw

額定電壓

220V

溫度控制

國產程序控溫系統50段程序控溫；

控制精度

±1℃

爐管極限工作溫度

＜1200℃

氣路法蘭

密(mi)(mi)(mi)(mi)封(feng)(feng)法蘭(lan)(lan)與管(guan)件連接的(de)地方采用(yong)多(duo)環密(mi)(mi)(mi)(mi)封(feng)(feng)技術(shu)，在密(mi)(mi)(mi)(mi)封(feng)(feng)法蘭(lan)(lan)與管(guan)外(wai)壁間形成了(le)密(mi)(mi)(mi)(mi)封(feng)(feng)，在管(guan)件外(wai)徑(jing)誤差較大的(de)情況下密(mi)(mi)(mi)(mi)封(feng)(feng)仍然有效，該密(mi)(mi)(mi)(mi)封(feng)(feng)法蘭(lan)(lan)的(de)安(an)裝只需在使用(yong)設備的(de)時候安(an)裝

氣體控制方式

質量流量計

氣路數量

3路(lu)（可根據具體需(xu)要選(xuan)配氣(qi)路(lu)數(shu)量）

流量范圍

0-500sccm(標(biao)準毫升/分，可選(xuan)配）氮氣標(biao)定

精度

±1%F.S

響應時間

≤4sec

工作溫度

5-45℃

工作壓力

進氣壓力0.05-0.3Mpa(表壓力）

系統連接方式

采用KF快速(su)連接波紋(wen)管(guan)、高(gao)真(zhen)空(kong)手動擋(dang)板閥及數(shu)顯真(zhen)空(kong)測量(liang)儀

規格

高真空

系統真空范圍

1x10-3Pa-1x10-1Pa

真空泵

真空分子泵理論極限(xian)真空度5x10-6Pa抽氣(qi)速度1200L/S額定電壓220V    功率2KW

真空分(fen)子(zi)泵理論極限真空度5x10-6Pa抽(chou)氣速度1600L/S額定電壓220V  功(gong)率2KW

爐體外形尺寸

340×580×555mm

480×770×605mm

系統外形尺寸

530x1440x750mm(不含(han)高(gao)真空)

系統總重量

330kg