1200度小型PECVD系統

更新時間： 2024-03-21

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產品報價：

產品簡介： PECVD系統是(shi)借助射頻使含有薄膜(mo)組成原子(zi)的氣體(ti)(ti)電離，在局部形成等(deng)(deng)離子(zi)體(ti)(ti)，而(er)等(deng)(deng)離子(zi)體(ti)(ti)化學活性很(hen)強，很(hen)容易發生反應，在基(ji)片上沉(chen)積出所(suo)期望的薄膜(mo)。集成型PECVD系統PECVD-12IH-500A、1200℃小型PECVD系統PECVD-12IH-4Z/G

詳細資料：

產品用途

PECVD系(xi)統是借(jie)助射頻使含有(you)薄膜組成(cheng)原子的氣體(ti)電離(li)，在局部形成(cheng)等離(li)子體(ti)，而等離(li)子體(ti)化學(xue)活性很強(qiang)，很容(rong)易發生反(fan)應，在基片(pian)上沉積出(chu)所(suo)期(qi)望的薄膜。

產品組成

PECVD系(xi)統配置(zhi)；

1.1200度開啟式滑(hua)動單溫區真空管(guan)式爐(lu)

2.等(deng)離(li)子(zi)射(she)頻(pin)電源

3.多路(lu)質量流(liu)量控制系統

4.真(zhen)空系統（單(dan)獨購買）

產品(pin)特點

電源范圍廣；溫度范圍寬；濺射區(qu)域(yu)長；整管可調；精致小巧(qiao)，性(xing)價比(bi)高，可實現快速升(sheng)降溫，是實驗(yan)室生長薄膜(mo)石(shi)墨烯，金屬(shu)薄膜(mo)，陶瓷(ci)薄膜(mo)，復合薄膜(mo)等的(de)理想選擇，也可作為擴展等離子清洗刻蝕使用。

系統名(ming)稱	集(ji)成型PECVD系統	1200℃小(xiao)型PECVD系(xi)統
系統型(xing)號	PECVD-12IH-500A	PECVD-12IH-4Z/G
控制方式	液晶屏微PLC控(kong)制系統	手動
極限溫度(du)	1200℃
加熱區長度	200mm
恒(heng)溫區長度	100mm
溫區	單溫區
石英管(guan)管(guan)徑	Φ60mm	Φ50mm
額(e)定功率	1.2Kw	2Kw
額(e)定(ding)電(dian)壓	220V
滑(hua)動方式及距離	自(zi)動(dong)滑動(dong);200mm	手動滑動;200mm
溫度控制	30段程序控溫	50段程序控溫
控制(zhi)精度	±1℃
爐管(guan)極限工作(zuo)溫度	＜1200℃
氣路法蘭	采用(yong)多環(huan)密封技術卡(ka)箍快(kuai)速(su)連接
排風(feng)冷卻(que)裝置	的空氣隔熱技(ji)術，結合熱感應技(ji)術，當爐體表面溫(wen)升(sheng)到50℃時，排(pai)溫(wen)風扇將(jiang)自動啟動，使爐體表面快(kuai)速降溫(wen)。
氣體控制方式	質量流量計（按鍵式）
氣路數(shu)量(liang)	2路（2-4路）	4路(lu)（可根(gen)據具(ju)體(ti)需要選配氣路(lu)數量）
流量范圍	0-500sccm(標準毫升/分，可選配）氮氣標定(ding)
精(jing)度	±1%F.S
響應時間(jian)	1sec
工作溫度（流(liu)量計）	20-120℃
工(gong)作壓力	進氣壓力0.05-0.3Mpa(表壓力）
進氣方式	采(cai)用防倒(dao)流(liu)設計
規格	中真空（集成型(xing)請單獨購買）
系(xi)統真空范(fan)圍	10Pa-100Pa
真空泵	雙(shuang)級機械(xie)泵理論極限真空度3x10^-1Pa，抽(chou)氣速率4L/S（選配：其他抽速(su)真空泵(beng)）,出氣口配(pei)有油(you)污過濾器，額定(ding)電(dian)壓220V，功率0.55Kw
信(xin)號頻率	13.56MHz±0.005%
功(gong)率輸出范圍	0W-500W	0W-100W
大反射功率	350W	30W
射頻輸出接(jie)口	50Ω，N-type,temale
功(gong)率穩定度	±0.1%
諧波分量	≤-50dbc
供電(dian)電(dian)壓	單相交(jiao)流（187V-253V)頻(pin)率50/60HZ
整機功率(lv)	≥70%
屏幕顯示(shi)	正方向功率，匹(pi)配(pei)器電容位置(zhi)(zhi)，偏置(zhi)(zhi)電壓(ya)值
爐體外形尺寸(cun)	290×350×340mm	290×350×495mm
系(xi)統(tong)外形尺寸	420×1440×1100mm	530×2310×750mm
系統總重量(liang)	270Kg