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立式(shi)管(guan)式(shi)電爐公(gong)司采用化(hua)技術(shu)，自(zi)行研(yan)制(zhi)開發的(de)高性能高節能的(de)新型電爐，產品具有的(de)合理結構，廣泛應用在薄膜(mo)生長、電極(ji)測試、氧化(hua)物晶體生長、退火等新工(gong)藝(yi)領域。配合真空和(he)氣(qi)路控制(zhi)組成CVD控制(zhi)系統，用于氣(qi)相沉積法制(zhi)備石(shi)墨烯(xi)

一(yi)、操作便捷性；1、氣(qi)路連(lian)接方(fang)式采用了快速連(lian)接法(fa)蘭結構。2、使取放(fang)物料過(guo)程簡化，只需一(yi)支卡箍(gu)便可完成氣(qi)路連(lian)接，方(fang)便操作。3、取消(xiao)了復雜的法(fa)蘭安裝過(guo)程，減少了爐(lu)管因(yin)安裝造成損壞的可能(neng)。

操作(zuo)便捷性；1、氣路(lu)連接方式采用了(le)快速(su)連接法蘭結構。2、使取放(fang)物料過程簡化，只需一(yi)支卡箍(gu)便可完(wan)成氣路(lu)連接，方便操作(zuo)。3、取消了(le)復雜(za)的(de)法蘭安裝過程，減少了(le)爐管(guan)因安裝造成損壞的(de)可能。

立式(shi)單(dan)溫(wen)區1400℃管(guan)(guan)式(shi)電(dian)爐(lu)(lu)(lu)，1200度(du)立式(shi)管(guan)(guan)能(neng)(neng)夠實(shi)現在真(zhen)空(kong)或氣氛保護條件(jian)(jian)下對樣品快(kuai)速加熱(re)(re)和(he)淬(cui)火，50段可編程溫(wen)度(du)控制(zhi)器。加熱(re)(re)爐(lu)(lu)(lu)膛有左(zuo)右兩部(bu)分組成(cheng)，其(qi)中上部(bu)爐(lu)(lu)(lu)膛可整體向后(hou)翻轉，方便取放、觀察實(shi)驗物(wu)料，爐(lu)(lu)(lu)膛材料采用的多晶(jing)莫來纖維真(zhen)空(kong)吸附制(zhi)成(cheng)，節能(neng)(neng)50%，溫(wen)場均勻。電(dian)熱(re)(re)元件(jian)(jian)采取高(gao)電(dian)阻合金絲0Cr27Al7Mo2。密(mi)(mi)封法蘭采用雙環密(mi)(mi)封技術，有效的提(ti)高(gao)了爐(lu)(lu)(lu)管(guan)(guan)兩端(duan)的氣密(mi)(mi)性(xing)。