產品用途：

產(chan)品性：

PECVD系(xi)統(tong)是借(jie)助射頻使含有薄膜(mo)組成原(yuan)子的氣體電離(li)，在(zai)局部(bu)形(xing)成等(deng)離(li)子體，而等(deng)離(li)子體化學活(huo)性很強，很容易發生反應，在(zai)基片上沉積(ji)出所期望的薄膜(mo)。

產品組成：

PECVD系統配置：

1.1200度(du)開啟(qi)式雙溫區真(zhen)空管(guan)式爐(lu)

2.等離子射頻電(dian)源(yuan)

3.多路質量流量控制系(xi)統(tong)

4.真(zhen)空(kong)系統（可(ke)選配中真(zhen)空(kong)或高(gao)真(zhen)空(kong)）  

產品特點：

生長溫度低；沉積速率快；成膜質量(liang)好，適用范圍(wei)廣(guang)，設備簡單(dan)。

天津中環電爐(lu)股(gu)(gu)份(fen)(fen)有限(xian)公(gong)(gong)司(si)(si)(si)立(li)于(yu)1993年，2015年公(gong)(gong)司(si)(si)(si)進(jin)行股(gu)(gu)份(fen)(fen)制(zhi)改造(zao)，更名為(wei)(wei)(wei)天津中環電爐(lu)股(gu)(gu)份(fen)(fen)有限(xian)公(gong)(gong)司(si)(si)(si)。公(gong)(gong)司(si)(si)(si)集研(yan)發、制(zhi)造(zao)、營(ying)銷能力于(yu)一身，為(wei)(wei)(wei)眾多科研(yan)院(yuan)所(suo)、大(da)學(xue)提供實驗室(shi)(shi)電爐(lu)系(xi)統(tong)及服務并深(shen)受用(yong)戶肯(ken)定；以(yi)北大(da)、清華、中科院(yuan)各(ge)院(yuan)所(suo)等為(wei)(wei)(wei)代表(biao)的(de)(de)客(ke)(ke)戶群體已(yi)經(jing)超過一千家(jia)，并為(wei)(wei)(wei)客(ke)(ke)戶完成(cheng)科研(yan)項(xiang)目做出了(le)自己的(de)(de)貢獻。截至到目前，公(gong)(gong)司(si)(si)(si)已(yi)經(jing)成(cheng)功研(yan)發出深(shen)受用(yong)戶肯(ken)定的(de)(de)21個系(xi)列(lie)260多個品(pin)(pin)(pin)種的(de)(de)產品(pin)(pin)(pin)，同(tong)時公(gong)(gong)司(si)(si)(si)的(de)(de)研(yan)發團隊(dui)已(yi)具備為(wei)(wei)(wei)客(ke)(ke)戶量(liang)身打(da)造(zao)特殊需求的(de)(de)實驗室(shi)(shi)電爐(lu)系(xi)統(tong)的(de)(de)能力。二(er)十(shi)多年以(yi)來，公(gong)(gong)司(si)(si)(si)的(de)(de)品(pin)(pin)(pin)牌在客(ke)(ke)戶的(de)(de)口碑中得(de)(de)以(yi)不斷的(de)(de)成(cheng)長，同(tong)時在政府的(de)(de)扶(fu)植下取得(de)(de)了(le)可喜的(de)(de)榮譽(yu)。