RTP-小型快速退火爐

更新時間： 2024-03-21

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產品報價：

產品簡介： 產品應(ying)用(yong)：該電爐(lu)采用(yong)紅外燈管加熱(re)，通過滑動(dong)爐(lu)體實現快(kuai)速(su)降(jiang)溫。應(ying)用(yong)于(yu)半導(dao)體或太陽(yang)能電池基(ji)片退(tui)火。也可用(yong)于(yu)快(kuai)速(su)熱(re)退(tui)火、快(kuai)速(su)熱(re)氧化、快(kuai)速(su)熱(re)氮化、硅化物合金(jin)退(tui)火、電極合金(jin)化、氧化物生(sheng)長、離(li)子(zi)注入后退(tui)火、薄(bo)膜沉積等工藝試驗。

詳細資料：

產品應用：

該電爐采用紅外燈(deng)管加熱，通過(guo)滑動(dong)爐體實現快速(su)降溫。應用于(yu)半導體或太陽能(neng)電池基片退(tui)火。也(ye)可用于(yu)快速(su)熱退(tui)火、

快速熱氧(yang)化(hua)(hua)、快速熱氮化(hua)(hua)、硅化(hua)(hua)物合(he)金退火(huo)、電極合(he)金化(hua)(hua)、氧(yang)化(hua)(hua)物生長、離子注入后(hou)退火(huo)、薄膜沉積(ji)等工藝試驗

產品特點：

可在真空/氣(qi)氛/空氣(qi)等不(bu)同環境下通過快速(su)移動爐(lu)體，加(jia)之強風冷(leng)設計，可對(dui)樣品進行快速(su)升降(jiang)溫(wen)處理；管內測溫(wen)設計，

溫控精(jing)度高,大升溫速率50℃/s;緊湊的(de)臺式設計，快速連接法蘭，減(jian)少了爐管因安裝造成損壞的(de)可能，方便操作(zuo)。

產品名稱	RTP-小型快(kuai)速退火(huo)爐
產品型號	RTP-G11103-K
額定功率	9KW
額定電壓	220AC 50/60Hz
極限溫度	1000°C
連續工作	950°C(<1 小時)
加熱區長度	300mm
恒溫區長度	100mm
加熱元件	紅外燈管
溫度控制	國產(chan)程序(xu)控(kong)溫(wen)系統可(ke)編程50段(duan)程序(xu)控(kong)溫(wen)；
控制精度	±1℃
石英管尺寸	Φ110*380MM
爐管材質	石英管
滑動距離	355mm
滑動方式	手動滑動
建議升溫速度	室溫900℃：30℃/sec 900℃~1000℃： 10℃/sec
外形尺寸	950 X 350 X 530 mm
重量	45Kg
標準配置	氣路總(zong)成一套(tao)（含(han)真空(kong)壓力表）石英管一支、高溫(wen)手(shou)套(tao)一副。76MM的樣(yang)品石英架一個。