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質量流量控制系統

更新時間: 2024-03-21

訪問次數: 7243

產品報價:

產品簡介: 操作便(bian)捷(jie)性(xing):1、方(fang)(fang)便(bian)的氣路快速連接口(kou),簡(jian)化了流量控制(zhi)系(xi)統與其他設(she)備的鏈接。2、配置有三種(zhong)接口(kou)(寶塔式(shi)接口(kou)、雙卡(ka)套式(shi)接口(kou)、KF接口(kou)),方(fang)(fang)便(bian)組(zu)合多種(zhong)連接方(fang)(fang)式(shi)。

詳細資料:

一、操作便捷性:

1、方便的氣路快(kuai)速連接口,簡化(hua)了(le)流量控制系統(tong)與其他(ta)設(she)備的鏈接。

2、配置有(you)三種(zhong)接(jie)(jie)口(kou)(寶(bao)塔式(shi)接(jie)(jie)口(kou)、雙卡(ka)套式(shi)接(jie)(jie)口(kou)、KF接(jie)(jie)口(kou)),方便組合多種(zhong)連(lian)接(jie)(jie)方式(shi)。

 

二、控制智能化:

采用數顯流量顯示儀,配合質量流量控制器,采集數據并控制流量。具有控制精度高,重復性好,響應速度快,穩定可靠等特點(氣(qi)體質量(liang)流量(liang)控制器) 。

 

三、使用安全性:

1、采用單向閥技術,使(shi)氣(qi)體流量在(zai)可控(kong)壓力范圍(wei)內(nei)控(kong)制,安全。

2、采(cai)用混氣灌裝置,使氣體可(ke)以在(zai)充分混合后導入工作室內,確保不會泄漏。

 

四、周邊拓展性:

1、該氣(qi)體質量(liang)控制系統可配我(wo)公(gong)司(si)生(sheng)產的真(zhen)空/氣(qi)氛管式電(dian)爐及真(zhen)空/氣(qi)氛箱式電(dian)爐使用。

2、該(gai)氣體流(liu)量(liang)控制系統可以與我(wo)公司(si)生產的真空(kong)控制系統組合使用。

3、可為用戶定制多路氣路產品(pin)。

 

規格

產品型號

氣路數量

流量控制方式

連接方式

流量計

流量范圍

精度

響應時間

工作溫度

工作壓力

外形尺寸mm

重量

標準配件

質量流量

ZL-02H

兩路

數顯流量控制儀

雙卡套接頭

質量流量計

0-500sccm(標準毫升/分(fen))氮氣標定

±1%F.S

≤4sec

5-45℃

進氣壓(ya)力0.05-0.3Mpa

530x670x710

48kg

PUΦ6管/每路2米Φ4*15mm不(bu)銹(xiu)鋼襯管5個

ZL-03H

三路

ZL-04H

四路

 

 

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